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洁净室的定义及标准

来源:互联网作者:佚名 日期:2020-01-07

洁净室几乎用于每个小颗粒都会对制造过程产生不利影响的行业。它们的大小和复杂程度各不相同,广泛应用于半导体制造,制药,生物技术,医疗设备和生命科学等行业,以及航空航天,光学,军事和能源部常见的关键工艺制造。

洁净室是任何给定的容纳空间,其中规定减少微粒污染并控制其他环境参数,例如温度,湿度和压力。关键部件是高效微粒空气(HEPA)过滤器,用于捕获0.3微米和更大尺寸的颗粒。输送到洁净室的所有空气都通过HEPA过滤器,在某些需要严格清洁性能的情况下,使用超低颗粒空气(ULPA)过滤器。

选择在洁净室工作的人员接受污染控制理论的广泛培训。他们通过气闸,空气淋浴和/或更衣室进入和离开洁净室,他们必须穿着特殊的衣服,以捕捉皮肤和身体自然产生的污染物。

根据房间的分类或功能,人员的衣服可能与实验室外套和发网一样有限,或者与多层兔子套装完全包裹在一起,并配有自给式呼吸器。

洁净室服装用于防止物质从穿着者的身体上脱落并污染环境。洁净室衣物本身不得释放颗粒或纤维,以防止人员污染环境。这种类型的人员污染会降低半导体和制药行业的产品性能,并且例如可能导致医务人员和医疗保健行业的患者之间的交叉感染。

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洁净室服装包括靴子,鞋子,围裙,胡须套,蓬松帽,工作服,面罩,连衣裙/实验室外套,礼服,手套和手指套,发网,头套,袖子和鞋套。使用的洁净室服装类型应反映洁净室和产品规格。低级洁净室可能只需要特殊的鞋子,鞋底完全光滑,不会跟踪灰尘或污垢。但是,鞋底不得产生滑倒危险,因为安全总是优先考虑。进入洁净室通常需要洁净室服。10,000级洁净室可以使用简单的罩衫,头套和短靴。对于10级洁净室,需要小心的长袍穿着程序,并配有拉链盖,靴子,手套和完整的呼吸器外壳。

洁净室通过使用采用层流或湍流气流原理的HEPA或ULPA过滤器来维持无颗粒空气。层流或单向气流系统以恒定流量向下引导过滤空气。层流气流系统通常在100%的天花板上使用,以保持恒定的单向流动。层流标准通常在便携式工作站(LF罩)中说明,并且在ISO-1至ISO-4分类洁净室中是强制性的。

适当的洁净室设计包括整个空气分配系统,包括足够的下游空气回收。在垂直流动室中,这意味着在区域的周边使用低壁空气返回。在水平流动应用中,它需要在过程的下游边界使用空气返回。使用天花板安装的空气返回与适当的洁净室系统设计相矛盾。

洁净室按空气清洁程度分类。在美国的联邦标准209(A至D)中,在一立方英尺的空气中测量等于或大于0.5mm的颗粒数,并且该计数用于对洁净室进行分类。该标准的最新209E版本也接受该度量标准。联邦标准209E在国内使用。较新的标准是国际标准组织的TC 209。这两个标准都根据实验室空气中的颗粒数量对洁净室进行了分类。洁净室分类标准FS 209E和ISO 14644-1要求进行特定的颗粒计数测量和计算,以对洁净室或洁净区域的清洁度水平进行分类。在英国,英国标准5295用于对洁净室进行分类。该标准即将被BS EN ISO 14644-1取代。

EO消毒灭菌洁净室根据每单位空气允许的颗粒数量和大小进行分类。诸如“100级”或“1000级”的大数字指的是FED_STD-209E,并且表示每立方英尺空气EO灭菌消毒 允许的0.5mm或更大尺寸的颗粒的数量。该标准还允许插值,因此可以描述例如“类2000”。

小数字指的是ISO 14644-1标准,它规定了每立方米空气允许的0.1微米或更大颗粒数的十进制对数。因此,例如,ISO 5级洁净室每m最多105 = 100,000个颗粒。

FS 209E和ISO 14644-1都假定粒径和粒子浓度之间的对数 - 对数关系。因此,没有零粒子浓度这样的东西。普通室内空气大约为1,000,000或ISO 9。

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